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现在想要进一步提升光刻机的性能,便只能选择研究波长更低的准分子激光或者是DUV深紫外线光源,但这个目标对于王向中而言,还是太早了一些。
这个问题还不是光有钱就能解决的,虽然在国际上早早地便有论文提出了这些光源的激发方法,但即便是有理论的存在,国内也没有任何一家厂商能将它们化为现实。
好在王向中还有足够的时间去研究光源问题,目前国际主流芯片制程大概也就是0.2微米左右的样子,在4年后,来自宝岛的林坚博士,便会使用浸润式光刻技术,攻克193纳米分辨率的极限。
一想到这,王向中也不知道该怎么办才好了,现在自己的资金积累还不太够,想要研发国产光刻机无疑是痴人说梦,即便是有了资金,也缺乏人才和背后的工业力量制程,同样是死路一条。
虽然他理论知识丰富,但光凭他一个人,把这些来自未来的理论技术给传播出去,恐怕也就是便宜了阿美瑞肯罢了。
但研究工作又不能停滞,总不可能接下来的四年一直围着i线光刻机转吧?
正当他左右为难时,手机突然响了起来。
“叮叮叮——”
王向中叹了一口气,接起电话,对面传来了李东激动的讲话。
“王老弟,你快来厂里的会客厅,陈正博士回来了!”
陈正博士?他听到这话也是怔了怔,旋即面色也是一阵狂喜,他突然想起来,上次陈正博士承诺了要带专家来指导工作,想必这次也是把人给找到了,带着对方来了晶华做客。
陈正博士口中的专家,可不是自己这种只懂得理论知识的假专家,而是名副其实的,耕耘在一线多年的真正的工程师专家!
“好!我马上就过来,您帮我通知一下叶志华教授!”
说完他也是火急火燎地挂断了电话,连准备工作都不做了,直接冲着会客厅而去。
等他到了会客厅,便见到李东和陈正两人正在有说有笑中,而在后者身旁,则是坐着两个中年男子,倒也不怎么说话。
见到那两个人,王向中也是彻底愣住了,其中一个人是陈正承诺要带来的张京博士,对方也是晶圆生产制造方面的专家。
在原本的历史中,陈正和晶华合资,由张京博士担任晶华的总经理位置,一时之间也是做得风生水起。
也正是在张京博士手里,晶华光刻机的制程也升级到了0.5微米,同时还将晶圆尺寸提升到了8英寸,基本达到了国际主流水平。
但是另外一个人,则是完全出乎了王向中的意料,虽然他仅仅看到了对方的侧脸,但毫无疑问,那个人就是浸润式光刻技术的发明者——林坚博士!
原来陈正博士和林坚博士俩人早就相识了!但一想到对方都是宝岛人,加上俩人都是芯片领域的专家,相互认识也是情有可原的。
但是能将林坚博士请到晶华来,这得是多大的荣幸啊!
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